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單溫區PE-CVD系統

單溫區PE-CVD系統

產品型號: TFE-1200-50-I-220

所屬分類:TFC化學氣相沉積

產品時間:2022-03-29

簡要描述:單溫區PE-CVD系統
高性能射頻電源.等離子體更穩定;
滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區.并可實現快速升溫和降溫功能;
與傳統CVD相比較.生長溫度更低

詳細說明:

單溫區PE-CVD系統

高性能射頻電源.等離子體更穩定;

滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區.并可實現快速升溫和降溫功能;

與傳統CVD相比較.生長溫度更低






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